mems器件是什么

全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。

拼音解读：

quán chēng Micro Electromechanical System（wēi jī diàn xì tǒng ），shì yī zhǒng tōng cháng zài guī jīng yuán shàng yǐ ICgōng yì zhì bèi de wēi jī diàn xì tǒng ，wēi jī xiè jié gòu de zhì bèi gōng yì bāo kuò guāng kè 、lí zǐ shù kè shí 、huà xué fǔ shí 、jīng piàn jiàn hé děng ，tóng shí zài jī xiè jié gòu shàng zhì bèi le diàn jí ，yǐ biàn tōng guò diàn zǐ jì shù jìn háng kòng zhì 。